天津華海清科機(jī)電科技有限公司（簡(jiǎn)稱“華海清科”）是天津市政府與清華大學(xué)為促進(jìn)推動(dòng)我國(guó)化學(xué)機(jī)械拋光（簡(jiǎn)稱CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化而合資成立的有限責(zé)任公司。公司座落于天津市津南區(qū)海河科技園內(nèi)，公司從籌備到成立，得到了天津市各級(jí)政府和清華大學(xué)的全力支持。清華大學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)通過(guò)國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路裝備與成套工藝”（簡(jiǎn)稱02專項(xiàng)）項(xiàng)目“超低下壓力CMP系統(tǒng)研制及工藝開(kāi)發(fā)”的實(shí)施，已掌握了超低下壓力CMP設(shè)備及工藝的關(guān)鍵技術(shù)，并成功研制出國(guó)內(nèi)首臺(tái)用于銅制程拋光的300mm晶圓“干進(jìn)干出”CMP設(shè)備，初步具備產(chǎn)業(yè)化能力。
華海清科注冊(cè)資本6000萬(wàn)元人民幣，公司擁有清華大學(xué)的CMP設(shè)備核心技術(shù)與骨干團(tuán)隊(duì)，通過(guò)資源整合、人才引進(jìn)，成為一家擁有自主核心技術(shù)和強(qiáng)大研究團(tuán)隊(duì)的高科技公司。華海清科將與清華大學(xué)繼續(xù)合作，并聯(lián)合中芯國(guó)際、上海集成電路研發(fā)中心等單位繼續(xù)承擔(dān)國(guó)家科技重大專項(xiàng)任務(wù)，最終實(shí)現(xiàn)CMP設(shè)備與技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化，逐步替代進(jìn)口設(shè)備，為實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路制造裝備及工藝的國(guó)產(chǎn)化戰(zhàn)略做出貢獻(xiàn)。
